Development of a system for laser-assisted molding of micro- and nanostructures

Michaeli, Walter; Klaiber, Fritz

New York, NY : American Institute of Physics (2009)
Beitrag zu einem Tagungsband, Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of vacuum science & technology : JVST / B
Band: 27
Heft: 3
Seite(n)/Artikel-Nr.: 1323-1326

Einrichtungen

• IKV - Institut für Kunststoffverarbeitung in Industrie und Handwerk e.V. [052100]
• Integrative Produktionstechnik für Hochlohnländer [080025]