High-Efficiency Sub-Micrometer Multi-Beam Interference Structuring for Large-Scale Surface Using Ultrashort Laser Pulses

He, Chao (Corresponding author); Vannahme, Kai; Gillner, Arnold

Osaka (2019)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of Laser Micro/Nanoengineering
Band: 14
Heft: 1
Seite(n)/Artikel-Nr.: 95-99