Model-based interfacing of large-scale metrology instruments

Montavon, Benjamin Leendert (Corresponding author); Peterek, Martin Joachim; Schmitt, Robert H.

Bellingham, Washington, USA : SPIE (2019)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Multimodal Sensing: Technologies and Applications : SPIE optical metrology ; 24-27 June 2019 / Editor(s): Ettore Stella
Seite(n)/Artikel-Nr.: 10 Seiten