Fusion of micro-metrology techniques for the flexible inspection of MEMS/MOEMS assembly

Bellingham, Wash / SPIE (2008) [Beitrag zu einem Tagungsband]

Optical micro- and nanometrology in microsystems technology II : 8 - 10 April 2008, Strasbourg, France / sponsored by SPIE Europe. Christophe Gorecki ..., ed.
Seite(n): 69950I, 12 S.

Autorinnen und Autoren

Autorinnen und Autoren

Schmitt, Robert Heinrich
Pavim, A.

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