Fusion of micro-metrology techniques for the flexible inspection of MEMS/MOEMS assembly

Schmitt, Robert H.; Pavim, A.

Bellingham, Wash : SPIE (2008)
Buchbeitrag, Beitrag zu einem Tagungsband

In: Optical micro- and nanometrology in microsystems technology II : 8 - 10 April 2008, Strasbourg, France / sponsored by SPIE Europe. Christophe Gorecki ..., ed.
Seite(n)/Artikel-Nr.: 69950I, 12 S.

Einrichtungen

• Integrative Produktionstechnik für Hochlohnländer [080025]
• Werkzeugmaschinenlabor WZL der RWTH Aachen [417200]
• Lehrstuhl für Fertigungsmesstechnik und Qualitätsmanagement [417510]